Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Измерения толщины покрытия(миниатюрных структур)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Усанов, Д. А.
    Использование СВЧ-фотонных структур для измерения параметров нанометровых пленок [Текст] / Д.А.Усанов, А.В.Скрипаль // Успехи современной радиоэлектроники. - 2008. - N9. - 80-88.-Библиогр.:20 назв.
УДК
621.38

Кл.слова (ненормированные):
Тонкие пленки(контроль качества) -- Производство наноэлектроники -- Измерения толщины покрытия(миниатюрных структур)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 02.06.2024
Число запросов 45353
Число посетителей 1193
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».