ХХ!- век нано
[Текст] > // Техника-молодежи. - 2008. -
N9.
- С. 12-13.
УДК
621.382
Кл.слова (ненормированные):
Сканирующей электронной микроскопии метод
--
Микроскопы туннельные сканирующие(свойства микроконтактов)
--
Нанотрубки
--
Производство наноэлектроники