Петров, А. Б. Измерение деформации поверхности полимеров при сканировании на атомном силовом микроскопе в полуконтактном режиме [Текст] / А.Б.Петров,Р.Р.Галлямов // Микроэлектроника. - 2007. - Т.3. - 3.-С.190-197.
Кл.слова (ненормированные): Микроскопы туннельные сканирующие(свойства микроконтактов) -- Атомно-силовая микроскопия -- Тонкие пленки(контроль качества) Доп.точки доступа: Галлямов, Р.Р. |