Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Цифровая 3D-микрорефлектометрия<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Котенев, В. А.
    Цифровая 3D-микрорефлектометрия в контроле топографии и качества тонких пленок [Текст] / В.А.Котенев // Микроэлектроника. - 2002. - Т.3. - 6.-С.466-478. - (Контроль качества)
УДК
621.382

Кл.слова (ненормированные):
Тонкие пленки(контроль качества) -- Видеомикрозонд оптический компьютерный(использование) -- Цифровая 3D-микрорефлектометрия -- Контроль микротопографии тонких пленок

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 02.06.2024
Число запросов 48307
Число посетителей 1268
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».