Ш 32 Шашин, Дмитрий Евгеньевич. Вакуумные тонкопленочные технологии в приборостроении [Текст : Электронный ресурс] : лабораторный практикум по направлениям подготовки 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника", 12.03.01 "Приборостроение", 11.03.03 "Конструирование и технология электронных средств", 12.03.04 "Биотехнические системы и технологии", 11.04.01 "Радиотехника", 27.03.04 "Управление в технических системах" / Д. Е. Шашин ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, ФГБОУ ВО "Поволжский государственный технологический университет". - Йошкар-Ола : ПГТУ, 2022. - 82 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 59 (3 назв.). - ISBN 978-5-8158-2314-3 : 140.50 р.
Рубрики: Электротехника--Тонкие оптические пленки Кл.слова (ненормированные): Приборостроение -- Информационно-измерительные приборы -- Тонкие пленки металлов (изготовление) -- Пленки оксида титана -- Пленки нитрида титана -- Оптические прорачные пленки нитрида аллюминия -- Пленки меди с низким значением поверхностного сопротивления -- Методы реактивного магнетронного распыления -- Методы резистивного термического испарения в вакууме -- 11.04.04 -- 12.03.01 -- 11.03.03 -- 12.03.04 -- 11.04.01 -- 27.03.04 -- лабораторные практикумы -- лабораторные работы Перейти к внешнему ресурсу Вакуумные тонкопленочные технологии в приобретении. Экземпляры всего: 5 чз№2 (5) Свободны: чз№2 (5) |