Воробьева, А. И. Кинетические особенности формирования столбиковых микроструктур методом анодного оксидирования [Текст] / Воробьева А.И. // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 6.-С.445-458.-Библиогр.:18 назв.
Кл.слова (ненормированные): Столбиковые микроструктуры(формирование) -- Анодного оксидирования метод -- Микроэлектроника(технология) -- Электронная микроскопия -- Хроновольт-амперометрия |
Воробьева, А. И. MCM-D интегральные резисторы. Процесс изготовления и основные характеристики [Текст] / Воробьева А.И., Москвичев К.В. // Микроэлектроника. - 2000. - Т. 2, № 6. - 417-425. - Библиогр.:10 назв.
Кл.слова (ненормированные): MCM-D модули(встраивание пассивных компонентов) -- MCM-D структуры(встраивание тонкопленочных резисторов) -- MCM-D интегральные резисторы(изготовление,характеристики) Доп.точки доступа: Москвичев, К.В. |