Гайнутдинов, Р. В. Проблема артефактов в атомно-силовой микроскопии [Текст] / Гайнутдинов Р.В., Арутюнов П.А. // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 4.-С.257-265.-Библиогр.:27 назв.
Кл.слова (ненормированные): Артефакты в атомно-силовой микроскопии -- Атомно-силовая микроскопия(артефакты) Доп.точки доступа: Арутюнов, П.А. |