Плазмохимическое осаждение пленок двуокиси кремния в автоматизированной установке с индивидуальной обработкой пластин [Текст] / Евтух А.А. [и др.] // Материаловедение. - 2001. - N10. - С. .40-43
Кл.слова (ненормированные): Установка плазмохимического охлаждения диэлектрических пленок -- Парогазовая смесь(PE CVD) Доп.точки доступа: Евтух, А.А. Рассамакин, В.Я. Рассамакин, Ю.В. Литвин, Ю.М. |
Калита, В. И. Плазменные технологии получения перспективных материалов и покрытий [Текст] / Калита В.И. // Технология металлов. - 2001. - N3. - С. 34-38
Кл.слова (ненормированные): Перспективные материалы и покрытия(плазменные технологии получения) -- Плазменные технологии получения материалов и покрытий |
Тимошенков, С. П. Особенности термической обработки частиц ВаО,SiO2,Al2O3 в воздушной и аргон-кислородной ВЧИ плазме [Текст] / Тимошенков С.П., Прокопьев Е.П. // Материаловедение. - 1999. - N1.
Кл.слова (ненормированные): Термическая обработка частиц Доп.точки доступа: Прокопьев, Е.П. |
Калита, В. И. Плазменные технологии получения перспективных материалов и покрытий [Текст] / Калита В.И. // Материаловедение. - 1999. - N2.
Кл.слова (ненормированные): Плазменное напыление -- Перспективные материалы(технологии получения) -- Покрытия(формирование) |