И 62 Петров, Максим Анатольевич. Разработка технологии получения углеродосодержащих пленок [Текст] / М. А. Петров ; науч. рук. Н. И. Сушенцов // Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России : материалы IV Всероссийской студенческой конференции (Йошкар-Ола, 20-23 ноября 2018 г.) : в 8 ч. / М-во науки и высшего образования РФ, ФГБОУ ВО "Поволж. гос. технол. ун-т"; [редкол.: И. Г. Сидоркина и др.]. - Йошкар-Ола : ПГТУ, 2018. - Ч. 4 : Информационные технологии - основа стратегического прорыва в современной промышленности. - С. 99-102 : 1 рис., 3 табл. - Библиогр.: с. 102 (3 назв.) Кл.слова (ненормированные): труды ПГТУ -- материалы конференций -- углеродосодержащие пленки -- тонкопленочная технология -- радиоэлектроника -- магнетронное распыление -- распыление составной мишени -- распыление графитовой мишени Аннотация: Цель исследования - выполнение экспериментов по получению тонких углеродосодержащих пленок методом магнетронного распыления и проведение исследований полученных образцов. Доп.точки доступа: Сушенцов, Николай Иванович (канд. техн. наук; доцент) \науч. рук.\ |