И 62 Костик, Никита Русланович. Применение нитрида алюминия в качестве материала для создания тонкопленочных многослойных конденсаторов методом магнетронного распыления [Текст] / Н. Р. Костик ; науч. рук. Н. И. Сушенцов> // Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России : материалы II Всероссийской студенческой конференции (Йошкар-Ола, 21-25 ноября 2016 г.) : в 8 ч. / М-во образования и науки РФ, ФГБОУ ВПО "Поволж. гос. технол. ун-т"; [редкол.: А. Н. Дедов и др.]. - Йошкар-Ола : ПГТУ, 2016. - Ч. 3 : Новые технологии инфокоммуникаций, радиотехники и электроники для прорывных отраслей промышленности . - С. 38-41 : 1 табл. - Библиогр.: с. 41 (6 назв.) . - 678016 кнхр Кл.слова (ненормированные): труды ПГТУ -- применение нитрида алюминия -- нитрид алюминия -- качество материала -- тонкопленочные многослойных конденсаторы -- магнетронное распыление -- микросхемы -- утечки Доп.точки доступа: Сушенцов, Николай Иванович (кандидат технических наук; доцент) \науч. рук.\ |