Новые подходы получения материалов наноэлектроники магнетронным распылением с использованием методов контроля их структуры и оптических свойств [Текст] / И. И. Попов [и др.]> // Вестник Поволжского государственного технологического университета. Сер.: Радиотехнические и инфокоммуникационные системы. - 2014. - № 3 (22). - С. 74-96 : 6 рис. - Библиогр.: с. 86-89 (87 назв.). - Реф. на англ. яз. Рубрики: Радиоэлектроника Электроника в целом Физика Экспериментальные методы и аппаратура оптики Кл.слова (ненормированные): заданные параметры -- труды ПГТУ -- зондовая микроскопия -- магнетронное распыление -- методы моделирования -- наноразмерные пленочные структуры -- наноэлектронные материалы -- оптические свойства -- полупроводниковые кристаллиты -- полупроводниковые структуры -- рентгенодифракционный анализ -- текстурированность пленок -- тонкие пленки -- фотонное эхо -- функциональные покрытия Аннотация: О возможности получения методом магнетронного распыления наноразмерных пленочных структур функциональных покрытий с заданными параметрами. Доп.точки доступа: Попов, Иван Иванович (доктор физико-математических наук; профессор) Вашурин, Никита Сергеевич (аспирант) Мороз, Андрей Викторович (аспирант) Степанов, Сергей Александрович (аспирант) Сушенцов, Николай Иванович (кандидат технических наук; доцент) Роженцов, Алексей Аркадьевич (доктор технических наук; профессор) Евдокимов, Алексей Олегович (кандидат технических наук; доцент) |