Шашин, Дмитрий Евгеньевич (кандидат технических наук). Технология воздействия потоком быстрых нейтралов на тонкие пленки ZnO и вакуумный технологический комплекс для ее реализации [Текст] / Д. Е. Шашин, Н. И. Сушенцов, Е. В. Тришина // Вестник Поволжского государственного технологического университета. Сер.: Радиотехнические и инфокоммуникационные системы. - 2021. - № 2 (50). - С. 76-87 : 7 рис. - Библиогр.: с. 84-85 (10 назв.). - Реф. на англ. яз. Рубрики: Радиоэлектроника Радиоэлектроника в целом Вычислительная техника Вычислительная техника в целом Химия Физико-химические методы анализа Кл.слова (ненормированные): ZnO -- вакуумная система откачки камеры -- интегральные схемы -- магнетронное распыление -- нейтральные потоки -- оксид цинка -- тонкие пленки Аннотация: Данная статья посвящена разработке технологии воздействия потоком нейтралов на тонкие пленки ZnO. Описано технологическое оборудование и последовательность операций для реализации воздействия на тонкие пленки ZnO потоком нейтралов. Доп.точки доступа: Сушенцов, Николай Иванович (кандидат технических наук; доцент) Тришина, Евгения Валерьевна (магистрант) |
Возможности магнетронного распыления в создании ловушек экситонов и трионов для наноэлектронного приборостроения [Текст] / И. И. Попов, А. В. Мороз, А. А. Гладышева [и др.] // Вестник Поволжского государственного технологического университета. Сер.: Радиотехнические и инфокоммуникационные системы. - 2021. - № 1 (49). - С. 63-79 : 9 рис. - Библиогр.: с. 75-76 (16 назв.). - Реф. на англ. яз. Рубрики: Радиоэлектроника Автоматика и телемеханика Вычислительная техника Вычислительные сети Кл.слова (ненормированные): кристаллические волокна тонких пленок -- магнетронное распыление -- мемристоры -- метод магнетронного распыления -- наноразмерные ловушки -- наноэлектронное приборостроение -- тонкие пленки -- трионы -- экситонные ловушки -- экситоны Аннотация: Экспериментально продемонстрирована работоспособность технологии коррекции формы и кривизны поверхности кристаллических волокон тонких пленок, получаемых методом магнетронного распыления, с целью коррекции параметров квантово-размерных объектов нового вида, представленных наноразмерными ловушками экситонов и тритонов. Доп.точки доступа: Попов, Иван Иванович (доктор физико-математических наук; профессор) Мороз, Андрей Викторович (кандидат технических наук) Гладышева, Анна Андреевна (студентка) Иванов, Андрей Валерьевич (аспирант) Леонтьев, Александр Юрьевич (аспирант) Минеев, Дмитрий Васильевич (аспирант) Сушенцов, Николай Иванович (кандидат технических наук) |
Козырев, Антон Геннадьевич (магистрант). Исследование влияния толщины тонких пленок различного состава, получаемых методом магнетронного распыления, на их оптические спектры пропускания [Текст] / А. Г. Козырев, А. В. Мороз, В. Е. Филимонов // Вестник Поволжского государственного технологического университета. Сер.: Радиотехнические и инфокоммуникационные системы. - 2020. - № 4 (48). - С. 64-71 : 6 рис., 5 табл. - Библиогр.: с. 69-70 (11 назв.). - Реф. на англ. яз. Рубрики: Радиоэлектроника Общая радиотехника Вычислительная техника Вычислительные сети Кл.слова (ненормированные): графит -- измерение сфокусированной антенны -- магнетронное распыление -- нитрид алюминия -- оксид меди -- оптические спектры пропускания -- спектры пропускания пленок графита -- тонкие пленки Аннотация: В работе представлены измеренные оптические спектры пропускания пленок графита, нитрида алюминия и оксида меди различной толщины, полученных методом магнетронного распыления. Доп.точки доступа: Мороз, Андрей Викторович (кандидат технических наук; доцент) Филимонов, Виталий Евгеньевич (кандидат технических наук; доцент) |
Шашин, Дмитрий Евгеньевич (аспирант). Фотодиэлектрический чувствительный элемент ультрафиолетового диапазона и особенности его изготовления [Текст] / Д. Е. Шашин // Вестник Поволжского государственного технологического университета. Сер.: Радиотехнические и инфокоммуникационные системы. - 2019. - № 4 (44). - С. 75-84 : 9 рис. - Библиогр.: с. 82-83 (14 назв.). - Реф. на англ. яз. Рубрики: Радиоэлектроника Радиоэлектроника в целом Вычислительная техника Вычислительные сети Кл.слова (ненормированные): магнетронное распыление -- оксид цинка -- тонкие пленки -- ультрафиолетовое излучение -- ультрафиолетовый диапазон -- фотодиэлектрические чувствительные элементы Аннотация: Данная статья посвящена разработке технологии изготовления фотоэлектрического чувствительного элемента ультрафиолетового диапазона на основе тонких пленок оксида цинка. |
И 62 Райченко, Андрей Алексеевич. Перспективы создания углеродных наноструктурированных пленок в водородной энергетике [Текст] / А. А. Райченко ; науч. рук. Н. И. Сушенцов // Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России : материалы IV Всероссийской студенческой конференции (Йошкар-Ола, 20-23 ноября 2018 г.) : в 8 ч. / М-во науки и высшего образования РФ, ФГБОУ ВО "Поволж. гос. технол. ун-т"; [редкол.: И. Г. Сидоркина и др.]. - Йошкар-Ола : ПГТУ, 2018. - Ч. 4 : Информационные технологии - основа стратегического прорыва в современной промышленности. - С. 108-110. - Библиогр.: с. 110 (3 назв.) Кл.слова (ненормированные): труды ПГТУ -- материалы конференций -- водородная энергетика -- углеродные нанотрубки -- магнетронное распыление Аннотация: В статье рассмотрены перспективы создания углеродных наноструктурированных пленок в водородной энергетике. Доп.точки доступа: Сушенцов, Николай Иванович (зав. кафедрой конструирования и производства радиоаппаратуры) \науч. рук.\ |
И 62 Петров, Максим Анатольевич. Разработка технологии получения углеродосодержащих пленок [Текст] / М. А. Петров ; науч. рук. Н. И. Сушенцов // Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России : материалы IV Всероссийской студенческой конференции (Йошкар-Ола, 20-23 ноября 2018 г.) : в 8 ч. / М-во науки и высшего образования РФ, ФГБОУ ВО "Поволж. гос. технол. ун-т"; [редкол.: И. Г. Сидоркина и др.]. - Йошкар-Ола : ПГТУ, 2018. - Ч. 4 : Информационные технологии - основа стратегического прорыва в современной промышленности. - С. 99-102 : 1 рис., 3 табл. - Библиогр.: с. 102 (3 назв.) Кл.слова (ненормированные): труды ПГТУ -- материалы конференций -- углеродосодержащие пленки -- тонкопленочная технология -- радиоэлектроника -- магнетронное распыление -- распыление составной мишени -- распыление графитовой мишени Аннотация: Цель исследования - выполнение экспериментов по получению тонких углеродосодержащих пленок методом магнетронного распыления и проведение исследований полученных образцов. Доп.точки доступа: Сушенцов, Николай Иванович (канд. техн. наук; доцент) \науч. рук.\ |
И 62 Матюкова, Ирина Сергеевна. Исследование технологии получения пьезоэлектрических пленок нитрида алюминия методом магнетронного распыления [Текст] / И. С. Матюкова ; науч. рук. В. Е. Филимонов // Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России : материалы IV Всероссийской студенческой конференции (Йошкар-Ола, 20-23 ноября 2018 г.) : в 8 ч. / М-во науки и высшего образования РФ, ФГБОУ ВО "Поволж. гос. технол. ун-т"; [редкол.: И. Г. Сидоркина и др.]. - Йошкар-Ола : ПГТУ, 2018. - Ч. 4 : Информационные технологии - основа стратегического прорыва в современной промышленности. - С. 77-80 : 2 табл. - Библиогр.: с. 80 (3 назв.) Кл.слова (ненормированные): труды ПГТУ -- материалы конференций -- пьезоэлектрические пленки нитрида алюминия -- AIN -- магнетронное распыление Аннотация: В статье исследуется технология получения пьезоэлектрических пленок нитрида алюминия методом магнетронного распыления. Доп.точки доступа: Филимонов, Виталий Евгеньевич (канд. техн. наук; доцент) \науч. рук.\ |
И 62 Алмазбеков, Кайратбек Алмазбекович. Разработка технологии изготовления диэлектрических пленок [Текст] / К. А. Алмазбеков ; науч. рук. А. В. Мороз // Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России : материалы IV Всероссийской студенческой конференции (Йошкар-Ола, 20-23 ноября 2018 г.) : в 8 ч. / М-во науки и высшего образования РФ, ФГБОУ ВО "Поволж. гос. технол. ун-т"; [редкол.: А. Н. Дедов, А. В. Зуев, М. Т. Алиев.]. - Йошкар-Ола : ПГТУ, 2018. - Ч. 3 : Новые технологии инфокоммуникаций, радиотехники и электроники для прорывных отраслей промышленности. - С. 109-112 : 2 рис. - Библиогр.: с. 112 (2 назв.) Кл.слова (ненормированные): труды ПГТУ -- материалы конференций -- диэлектрические пленки -- магнетронное распыление -- нитрид алюминия -- технологические процессы Аннотация: В статье рассмотрена технология изготовления диэлектрических пленок, а именно нитрида алюминия, чтобы в дальнейшем на стеклянной подложке получить пленку толщиной, достаточной для пропускания спектра. Доп.точки доступа: Мороз, Андрей Викторович (канд. техн. наук; доцент) \науч. рук.\ |
Шашин, Дмитрий Евгеньевич (аспирант). Разработка математической модели формирования тонких пленок оксида цинка с заданными значениями комплексной диэлектрической проницаемости [Текст] / Д. Е. Шашин // Вестник Поволжского государственного технологического университета. Сер.: Радиотехнические и инфокоммуникационные системы. - 2018. - № 4 (40). - С. 74-81 : 1 рис., 1 табл. - Библиогр.: с. 79 (11 назв.). - Реф. на англ. яз. Рубрики: Радиоэлектроника Электроника в целом Вычислительная техника Вычислительные сети Механика Математическая теория механики Кл.слова (ненормированные): диэлектрическая проницаемость -- магнетронное распыление -- математические модели -- оксид цинка -- регрессия -- технологические параметры -- тонкие пленки Аннотация: Разработана математическая модель, связывающая технологические параметры магнетронного распыления с комплексной диэлектрической проницаемостью тонких пленок оксида цинка. |
М 74 Христолюбов, Р. А. Разработка технологии изготовления солнечных элементов методами магнетронного распыления [Текст] / Р. А. Христолюбов ; науч. рук.: С. А. Степанов, А. М. Кузнецова // Мой первый шаг в науку : материалы VI Поволжского научно- образовательного форума школьников (Йошкар-Ола, 17 февраля 2018 г.) : в 3 ч. / М-во образования и науки РФ, М-во образования и науки РМЭ, ФГБОУ ВО "Поволж. гос. технол. ун-т" ; [редкол.: Иванов Д. В. и др.]. - Йошкар-Ола : ПГТУ, 2018. - Ч. 1 : Фундаментальные науки. Информатика. Техника. - С. 123-124. - (Физика вокруг нас). - Библиогр.: с. 124 (3 назв.) . - кнхр
Кл.слова (ненормированные): ТРУДЫ ПГТУ -- солнечные элементы -- магнетронное распыление -- источники электрической энергии Доп.точки доступа: Степанов, С. А. (ассистент) \науч. рук.\ Кузнецова, А. М. (учитель физики) Артемьев, А. В. (учитель математики) |
И 73 Тришина, Е. В. Разработка конструкции тонкопленочных солнечных элементов на основе оксидов металлов [Текст] / Е. В. Тришина // Интеллектуальная собственность и современная техника и технологии для развития экономики : материалы V республиканской молодежной научно-практической конференции в рамках Всерос. студ. форума "Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России" (Йошкар-Ола, 22-23 ноября 2017 г.) / М-во образования и науки РФ, ФГБОУ ВПО "Поволж. гос. технол. ун-т"; [редкол.: Ю. С. Андрианов и др.]. - Йошкар-Ола : ПГТУ , 2017. - С. 83-86. - Библиогр.: с. 86 (6 назв.)
Кл.слова (ненормированные): труды ПГТУ -- тонкопленочные солнечные элементы -- оксиды металлов -- магнетронное распыление -- солнечная энергетика -- фотовольтаика -- тонкие пленки |
И 73 Минеев, Д. В. Разработка и испытание технологий формирования активного слоя мемристоров [Текст] / Д. В. Минеев // Интеллектуальная собственность и современная техника и технологии для развития экономики : материалы V республиканской молодежной научно-практической конференции в рамках Всерос. студ. форума "Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России" (Йошкар-Ола, 22-23 ноября 2017 г.) / М-во образования и науки РФ, ФГБОУ ВПО "Поволж. гос. технол. ун-т"; [редкол.: Ю. С. Андрианов и др.]. - Йошкар-Ола : ПГТУ , 2017. - С. 67-70. - Библиогр.: с. 70 (5 назв.)
Кл.слова (ненормированные): труды ПГТУ -- мемристоры -- магнетронное распыление -- формирование активного слоя мемристоров -- тонкопленочная технология -- термическое распыление -- химическое осаждение пленок |
И 62 Рыжова, Елена Андреевна. Исследование влияния толщины пленки на основе оксидов и нитридов элементов нержавеющей стали на поверхностное сопротивление [Текст] / Е. А. Рыжова ; науч. рук. А. В. Мороз // Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России : материалы II Всероссийской студенческой конференции (Йошкар-Ола, 21-25 ноября 2016 г.) : в 8 ч. / М-во образования и науки РФ, ФГБОУ ВПО "Поволж. гос. технол. ун-т"; [редкол.: А. Н. Дедов и др.]. - Йошкар-Ола : ПГТУ, 2016. - Ч. 3 : Новые технологии инфокоммуникаций, радиотехники и электроники для прорывных отраслей промышленности . - С. 74-76 : 2 рис. - Библиогр.: с. 76 (3 назв.) . - 678016 кнхр Кл.слова (ненормированные): труды ПГТУ -- исследования -- толщина пленки -- оксиды -- нитриды -- нержавеющая сталь -- поверхностное сопротивление -- магнетронное распыление -- резистивная пленка -- метод напыления Доп.точки доступа: Мороз, Андрей Викторович (кандидат технических наук; доцент) \науч. рук.\ |
И 62 Костик, Никита Русланович. Применение нитрида алюминия в качестве материала для создания тонкопленочных многослойных конденсаторов методом магнетронного распыления [Текст] / Н. Р. Костик ; науч. рук. Н. И. Сушенцов // Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России : материалы II Всероссийской студенческой конференции (Йошкар-Ола, 21-25 ноября 2016 г.) : в 8 ч. / М-во образования и науки РФ, ФГБОУ ВПО "Поволж. гос. технол. ун-т"; [редкол.: А. Н. Дедов и др.]. - Йошкар-Ола : ПГТУ, 2016. - Ч. 3 : Новые технологии инфокоммуникаций, радиотехники и электроники для прорывных отраслей промышленности . - С. 38-41 : 1 табл. - Библиогр.: с. 41 (6 назв.) . - 678016 кнхр Кл.слова (ненормированные): труды ПГТУ -- применение нитрида алюминия -- нитрид алюминия -- качество материала -- тонкопленочные многослойных конденсаторы -- магнетронное распыление -- микросхемы -- утечки Доп.точки доступа: Сушенцов, Николай Иванович (кандидат технических наук; доцент) \науч. рук.\ |
Н 34 Рыжова, Е. А. Влияние технологических условий магнетронного распыления на характеристики резистивных пленок на основе нержавеющей стали [Текст] / Е. А. Рыжова, А. В. Мороз // Материалы одиннадцатой международной научной школы- семинар "Наука и инновации-2016" ISS "SI-2016" : материалы 8-го международного школы- семинара "Фундаментальные исследования и инновации: нанооптика, фотоника и когерентная спектроскопия", 5-12 июля 2016 года / Рос. фонд фундам. исслед., Фонд содействия развитию малых форм предприятий в науч.- техн. сфере, ФГБОУ ВО "Поволж. гос. технол. ун-т" [и др.]; [редкол.: Попов И. И., Козлов В. А., Самарцев В. В.]. - Йошкар-Ола : ПГТУ, 2016. - С. 139-142 : 4 рис. - (Физика- материаловедение- технологии- оборудование). - Библиогр.: с. 141-142 (6 назв.) . - кнхр Кл.слова (ненормированные): ТРУДЫ ПГТУ -- магнетронное распыление -- резистивные пленки -- термостабилизация Доп.точки доступа: Мороз, А. В. |
Н 34 Сушенцов, Н. И. Применение современной схемы магнетронного распыления и дугового испарения при создании функциональных покрытий на основе комплексного нитрида титана алюминия [Текст] / Н. И. Сушенцов, С. А. Степанов, Д. Е. Шашин // Материалы одиннадцатой международной научной школы- семинар "Наука и инновации-2016" ISS "SI-2016" : материалы 8-го международного школы- семинара "Фундаментальные исследования и инновации: нанооптика, фотоника и когерентная спектроскопия", 5-12 июля 2016 года / Рос. фонд фундам. исслед., Фонд содействия развитию малых форм предприятий в науч.- техн. сфере, ФГБОУ ВО "Поволж. гос. технол. ун-т" [и др.]; [редкол.: Попов И. И., Козлов В. А., Самарцев В. В.]. - Йошкар-Ола : ПГТУ, 2016. - С. 102-104 : 2 рис.; 2 табл. - (Физика- материаловедение- технологии- оборудование). - Библиогр.: с. 104 (5 назв.) . - кнхр Кл.слова (ненормированные): ТРУДЫ ПГТУ -- пленки -- магнетронное распыление -- дуговое испарение -- нитрид титана алюминия -- кристаллиты -- физика Доп.точки доступа: Степанов, С. А. Шашин, Д. Е. |
Технологические особенности формирования резистивных пленок на основе нержавеющей стали [Текст] / А. В. Мороз [и др.] // Вестник Поволжского государственного технологического университета. Сер.: Радиотехнические и инфокоммуникационные системы. - 2016. - № 2 (30). - С. 84-89 : 2 рис. - Библиогр.: с. 87 (7 назв.). - Реф. на англ. яз. Рубрики: Радиоэлектроника Радиоэлектроника в целом Энергетика Магнитные измерения Кл.слова (ненормированные): аргон -- магнетронное распыление -- нержавеющая сталь -- нитриды -- оксиды -- поверхностное сопротивление -- реактивные газы -- резистивные пленки -- технологические особенности -- удельное поверхностное сопротивление Аннотация: Описана технология формирования резистивных пленок на основе оксидов и нитридов элементов нержавеющей стали. Приведены зависимости между удельным поверхностным сопротивлением температурным коэффициентом пленок и содержанием реактивных газов в атмосфере аргона при их формировании. Доп.точки доступа: Мороз, Андрей Викторович (кандидат технических наук; доцент) Сушенцов, Николай Иванович (кандидат технических наук; доцент) Степанов, Сергей Александрович (ассистент) Михеева, Елена Викторовна (кандидат технических наук; доцент) Рыжова, Елена Андреевна (студент) |
Шашин, Д. Е. Автоматизированная система позиционирования подложки при напылении тонких пленок [Текст] / Д. Е. Шашин ; науч. рук. Н. И. Сушенцов // Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России : материалы Всерос. студ. конф. (Йошкар-Ола, 23-28 ноября 2015 г.) : в 8 ч. / М-во образования и науки РФ, ФГБОУ ВПО "Поволж. гос. технол. ун-т"; [редкол.: А. Н. Дедов, А. В. Зуев, А. О. Евдокимов]. - Йошкар-Ола : ПГТУ, 2015. - Ч. 3 : Новые технологии инфокоммуникаций, радиотехники и электроники для прорывных отраслей промышленности. - С. 179-182 : 2 рис. - Библиогр.: с. 182 (4 назв.) . - кнхр Кл.слова (ненормированные): ТРУДЫ ПГТУ -- тонкие пленки -- магнетронное распыление -- пленки -- напыляемые пленки Доп.точки доступа: Сушенцов, Н. И. (кандидат технических наук) \науч. рук.\ |
Рыжова, Е. А. Исследование влияния реактивных газов в процессе магнетронного распределения на удельное сопротивление пленки из элементов нержавеющей стали [Текст] / Е. А. Рыжова // Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России : материалы Всерос. студ. конф. (Йошкар-Ола, 23-28 ноября 2015 г.) : в 8 ч. / М-во образования и науки РФ, ФГБОУ ВПО "Поволж. гос. технол. ун-т"; [редкол.: А. Н. Дедов, А. В. Зуев, А. О. Евдокимов]. - Йошкар-Ола : ПГТУ, 2015. - Ч. 3 : Новые технологии инфокоммуникаций, радиотехники и электроники для прорывных отраслей промышленности. - С. 128-131 : 2 рис. - Библиогр.: с. 130-131 (3 назв.) . - кнхр Кл.слова (ненормированные): ТРУДЫ ПГТУ -- магнетронное распыление -- устройство -- тонкопленочные резисторы -- сопротивление -- нержавеющая сталь |
Кузнецова, М. Ю. Патентоспособное устройство для повышения адгезии тонких металлических пленок в многослойной тонкопленочной структуре [Текст] / М. Ю. Кузнецова ; науч. рук. В. Е. Филимонов // Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России : материалы Всерос. студ. конф. (Йошкар-Ола, 23-28 ноября 2015 г.) : в 8 ч. / М-во образования и науки РФ, ФГБОУ ВПО "Поволж. гос. технол. ун-т"; [редкол.: А. Н. Дедов, А. В. Зуев, А. О. Евдокимов]. - Йошкар-Ола : ПГТУ, 2015. - Ч. 3 : Новые технологии инфокоммуникаций, радиотехники и электроники для прорывных отраслей промышленности. - С. 73-75 : 1 рис. - Библиогр.: с. 75 (3 назв.) . - кнхр Кл.слова (ненормированные): ТРУДЫ ПГТУ -- металлические пленки -- пленки -- многослойные структуры -- тонкопленочные структуры -- магнетронное распыление -- адгезия -- магнетроны Доп.точки доступа: Филимонов, В. Е. (кандидат технических наук, доцент) \науч. рук.\ |