Шубнов, А. Химическое осаждение углеродных тонких пленок из газовой фазы при атмосферном давлении посредством фотонного плазмотрона [Текст] / А.Шубнов,М.Зверев // Технология металлов. - 2008. - N12. - С.41- 46
Кл.слова (ненормированные): Фотонный плазмотрон -- Напыление твердых тонких пленок -- Поликристаллические алмазные пленки Доп.точки доступа: Зверев, М. |