Рязанов, С. С.
    Системы позиционирования для оптико-электронных систем на основе микроэлектромеханических структур [Текст] / С. С. Рязанов // Вестник Московского государственного университета леса - Лесной вестник. - 2009. - № 6. - С. 47-52 . - Библиогр. : 4 назв.
УДК

Кл.слова (ненормированные):
мэмс -- МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ (MEMS) -- ДАТЧИКИ -- ПОЗИЦИОНИРОВАНИЕ -- УГЛОВОЕ СОПРОВОЖДЕНИЕ ЦЕЛИ (ТОЧНОСТЬ, УСТОЙЧИВОСТЬ)