Сравнительный анализ методов растровой электронной микроскопии полупроводников : электронно-индуцированного потенциала, одноконтактного наведенного тока, термоакустического детектирования [Текст] / Э. И. Рау и др. // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 4.-С.243-256.-Библиогр.:28 назв.
Кл.слова (ненормированные): Электронная микроскопия полупроводников(методы) -- Полупроводники(методы электронной микроскопии) -- Электронно-индуцированного вотенциала метод -- Одноконтактного наведенного тока метод -- Термоакустического детектирования метод Доп.точки доступа: Рау, Э.И. Гостев, А.В. Чжу, Шичу Пханг, Д. Чан, Д. Тхонг, Д. Вонг, В. |