Крупкина, Т. Ю. Особенности приборно-технологического моделирования транзисторныхструктур КНС- и КНИ- типа[Текст] [Текст] / Т.Ю.Крупкина // Микроэлектроника. - 2005. - Т.3. - N6.-С.455-465.- Библиогр.: 10 назв. - (Моделирование транзисторных структур)
Кл.слова (ненормированные): Структуры КНИ(улучшение качества) -- Материалы пленочные(использование) |
Кривелевич, С. А. Ионный синтез структур кремний на изоляторе. Современное состояние, новые подходы и перспективы [Текст] / С.А.Кривелевич,М.И.Маковийчук,Е.О.Паршин // Микроэлектроника. - 1999. - Т.2. - 5.-С.363-369.-Библиогр.:15 назв.
Кл.слова (ненормированные): Структуры кремний на изоляторе(ионный синтез) -- Структуры КНИ(кремний на изоляторе) -- Структуры КНИ(современное состояние технологии ионного синтеза) -- Структуры КНИ(улучшение качества) Доп.точки доступа: Маковийчук, М.И. Паршин, Е.О. |