Кривелевич, С. А.
    Ионный синтез структур кремний на изоляторе. Современное состояние, новые подходы и перспективы [Текст] / С.А.Кривелевич,М.И.Маковийчук,Е.О.Паршин // Микроэлектроника. - 1999. - Т.2. - 5.-С.363-369.-Библиогр.:15 назв.
УДК

Кл.слова (ненормированные):
Структуры кремний на изоляторе(ионный синтез) -- Структуры КНИ(кремний на изоляторе) -- Структуры КНИ(современное состояние технологии ионного синтеза) -- Структуры КНИ(улучшение качества)
Доп.точки доступа:
Маковийчук, М.И.
Паршин, Е.О.