Н 34 Уртминцева, А. С. Растровая электронная микроскопия [Текст] / А. С. Уртминцева, А. А. Шепелева ; науч. рук. Н. Г. Крашенинникова // Научному прогрессу - творчество молодых : материалы XII международной молодежной научной конференции по естественнонаучным и техническим дисциплинам (Йошкар-Ола, 21-22 апреля 2017 г.) : в 4 ч. / [редкол.: Д. В. Иванов и др.] ; М-во образования и науки РФ, ФГБОУ ВО "Поволж. гос. технол. ун-т", Центр фундам. образования. - Йошкар-Ола : ПГТУ, 2017. - Ч. 2. - С. 65-66. - (Материаловедение и технология машиностроения). - Библиогр.: с. 66 (1 назв.) . - кнхр
Кл.слова (ненормированные): ТРУДЫ ПГТУ -- международные конференции -- студенческие конференции -- растровая электронная микроскопия -- электронно-зондовый микроанализ Доп.точки доступа: Шепелева, А. А. Крашенинникова, Н. Г. (кандидат физико-математических наук; доцент) \науч. рук.\ |
Игумнов, Владимир Николаевич (кандидат технических наук; профессор). Формирование концентрационного профиля проводящей фазы в процессе термообработки толстопленочных резистивных элементов [Текст] / В. Н. Игумнов // Вестник Поволжского государственного технологического университета. Сер.: Радиотехнические и инфокоммуникационные системы. - 2014. - № 5 (24). - С. 72-76 : 6 рис., 1 табл. - Библиогр.: с. 76 (7 назв.). - Реф. на англ. яз. Рубрики: Радиоэлектроника Электроника в целом Кл.слова (ненормированные): Оже-спектроскопия -- вжигание -- диоксиды рутения -- концентрационные профили -- оптическая электронная микроскопия -- процессы термообработки -- растровая электронная микроскопия -- резистивные материалы -- рентгеновский микроанализ -- сопротивление растекания контактов -- термоактивационная проводимость -- токопроводящие фазы -- толстопленочные резистивные элементы -- точечные контакты -- экспериментальные исследования -- электропроводность -- пгту в печати Аннотация: Приводятся результаты исследований распределения содержания токопроводящей фазы, а также распределения электропроводности в объеме резистивного элемента в результате термической обработки. |
Измерение линейных размеров кремниевых элементов нанорельефа с профилем, близким к прямоугольному методом дефокусировки электронного зонда РЭМ [Текст] // Микроэлектроника. - 2010. - Т. 39, N 6. - С. 420-425 : ил. - Библиогр.: с. 425(3 назв.)
Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВАЯ ТЕХНОЛОГИЯ(РАЗВИТИЕ) -- РАСТРОВАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ -- НАНОСТРУКТУРЫ (ЭЛЕКТРОННО-МИКРОСКОПИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ) Аннотация: На РЭМ исследованы одиночные кремниевые элементы нанорельефа с разной шириной. |
Электронно-зондовая неразрушающая бесконтактная диагностика приборных структур микроэлектроники [Текст] // Микроэлектроника. - 2010. - Т. 39, N 5. - С. 327-336. - Библиогр.: с. 336 (14 назв.)
Кл.слова (ненормированные): НЕРАЗРУШАЮЩИЙ КОНТРОЛЬ -- ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП -- РАСТРОВАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ -- микротомография Аннотация: Описан электронно-зондовый диагностический комплекс на базе растрового электронного микроскопа. позволяющий бесконтактным неразрушающим способом исследовать строение и архитектуру трехмерных приборных структур микроэлектроники. |
Якимов, Е. Б. Определение локальных электрических параметров полупроводниковых материалов методами растровой электронной микроскопии [Текст] / Е.Б.Якимов // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2002. - N2. - С. 63-69
Кл.слова (ненормированные): Электронная микроскопия(растровая) -- Полупроводниковые материалы(определение локальных электрических параметров) -- Растровая электронная микроскопия |