Барсуков, А. Г.
    Модель оптимизации выбора номенклатуры комплектующих изделий[Текст] [Текст] / А.Г.Барсуков // Электросвязь. - 2006. - N11. - .45-46.-Библиогр.: 4 назв.
УДК

Кл.слова (ненормированные):
НИОКР -- Комплексное моделирование технологических процессов -- Моделирование(электронных устройств) -- Процессы технологическиемикроэлектронике)
Аннотация: НИОКР




   
    Контактные TiSi2 и барьерные TiN слои для многоуровневой металлизации УБИС [Текст] / А. Г. Васильев и др. // Микроэлектроника. - 2002. - Т.3. - 1.-С.9-15.-Библиогр.:8 назв. - (Технологические процессы)
УДК

Кл.слова (ненормированные):
Многоуровневая металлизация УБИС -- Тонкие пленки ИС(формирование) -- Интегральные схемы(многоуровневые,металлизация) -- Технологические процессы в микроэлектронике -- Процессы технологическиемикроэлектронике)
Доп.точки доступа:
Васильев, А.Г.
Орликовский, А.А.
Родатис, В.В.
Хорин, И.А.