Абрамов, Г. В. Автоматизация процесса термостабилизации полупроводниковых пластин в процессе фотолитографии на базе модульной установки с несущей газовой прослойкой [Текст] / Г.В.Абрамов,В.Б.Коваленко,Г.В.Попов // Автоматизация и современные технологии. - 2001. - N5. - С. 3-6. - (Автоматизация и механизация научно-исследовательских и производственных процессов). - Библиогр.: с. 6 (6 назв.)
Кл.слова (ненормированные): Полупроводниковая электроника (технология производства) -- Полупроводниковые пластины (термостабилизация) -- Фотолитографический процесс (производство полупроводниковых пластин) Доп.точки доступа: Коваленко, В.Б. Попов, Г.В. |