Данилюк, А. Л. Очистка и подлегирование кремния в плазме BF3 при изготовлении омических контактов [Текст] / Данилюк А.Л., Снитовский Ю.П. // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 4.-С.305-311.-Библиогр.:29 назв.
Кл.слова (ненормированные): Кремний(очистка,подлегирование) -- Омические контакты(изготовление) -- Контакты омические высоконадежные невыпрямляющие -- Пленки молибдена(нанесение) -- Катодного распыления метод(нанесения пленок) -- Полупроводника и диэлектрика контакт Доп.точки доступа: Снитовский, Ю.П. |