Мордвинцев, В. М. Методика контроля процесса травления нанометрового слоя диэлектрика in situ путем измерения адмитанса системы [Текст] / Мордвинцев В.М., Шумилова Т.К. // Микроэлектроника. - 1999. - Т.2. - 2.-С.136-147
Кл.слова (ненормированные): Травление нанометрового слоя диэлектрика(контроль процесса) -- Измерение адмитанса системы(контроль процесса травления) -- Диэлектрики in situ(травление нанометрового слоя) -- Тонкопленочная технология(контроль процесса травления) Доп.точки доступа: Шумилова, Т.К. |