Адонин, А. Новые возможности технологии БИС со структурой "кремний на сапфире" [Текст] / Адонин А. // Электронные компоненты. - 2000. - N3. - С. 45-51
Кл.слова (ненормированные): "Кремний на сапфире"(структура) -- Микроэлектронное производство БИС -- БИС Аннотация: Новые технологии, БИС со структурой "кремний на сапфире" |