Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Технология выращивания пленок AIN<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
62
М 26

    Мокосеев, Н. С.
    Разработка технологии получения пьезоэлектрических пленок AIN методом несбалансированного магнетронного распыления [Текст] / Н. С. Мокосеев, Н. И. Сушенцов // Сборник тезисов докладов студентов, аспирантов, докторантов по итогам научно-технической конференции МарГТУ в 2004 г. / Мар. гос. техн. ун-т ; [редкол.: В. А. Иванов, Я. А. Фурман, Е. М. Романов и др.]. - Йошкар-Ола : МарГТУ, 2004. - С. 97-98. - (Секция 3. Радиофизика, техника, локация и связь) . - 609307 кнхр
УДК
62

Кл.слова (ненормированные):
Магнетронное распыление УВН-71П3 -- Пленки AIN -- Получение тонких пленок -- Микроэлектроника (тонкие пленки) -- Высокотемпературные сверхпроводящие пленки -- ТРуды МарГТУ -- Технология выращивания пленок AIN
Доп.точки доступа:
Сушенцов, Н.И.


Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 06.07.2024
Число запросов 86128
Число посетителей 1067
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».