Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Пленки аморфного кремния(свойства)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


   
    Высокоскоростной метод осаждения аморфного кремния [Текст] / Б.Г.Будагян,А.А.Шершенков,А.Е.Бердников,В.Д.Черномордик В.Д. // Микроэлектроника. - 2000. - Т.2. - 6.-С.442-448.-Библиогр.:11 назв.
УДК
621.382

Кл.слова (ненормированные):
Аморфный кремний(осаждение) -- Пленки аморфного кремния(свойства) -- Гетероструктуры(изготовление) -- Высокоскоростного осаждения a-Si метод
Доп.точки доступа:
Будагян, Б.Г.
Шерченков, А.А.
Бердников, А.Е.
Черномордик, В.Д.


Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 30.06.2024
Число запросов 15735
Число посетителей 410
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».