Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Осаждение тонких диэлектрических слоев(методы)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Васильев, В. Ю.
    Тенденции развития технологии и аппаратуры химического осаждения тонких диэлектрических слоев на основе диоксида кремния в микроэлектронике. Часть I. Материалы, методы осаждения, аппаратура [Текст] / Васильев В.Ю. // Микроэлектроника. - 1999. - Т.2. - 3.-С.175-182.-Библиогр.:21 назв.
УДК
621.38

Кл.слова (ненормированные):
Микроэлектроника полупроводниковая(технологии) -- Осаждение тонких диэлектрических слоев(аппаратура) -- Осаждение тонких диэлектрических слоев(методы)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 12.07.2024
Число запросов 28831
Число посетителей 241
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».