Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=НАНОСТРУКТУРЫ (ЭЛЕКТРОННО-МИКРОСКОПИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


   
    Измерение линейных размеров кремниевых элементов нанорельефа с профилем, близким к прямоугольному методом дефокусировки электронного зонда РЭМ [Текст] // Микроэлектроника. - 2010. - Т. 39, N 6. - С. 420-425 : ил. - Библиогр.: с. 425(3 назв.)
УДК
621.382

Кл.слова (ненормированные):
КРЕМНИЕВАЯ ТЕХНОЛОГИЯ(РАЗВИТИЕ) -- РАСТРОВАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ -- НАНОСТРУКТУРЫ (ЭЛЕКТРОННО-МИКРОСКОПИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ)
Аннотация: На РЭМ исследованы одиночные кремниевые элементы нанорельефа с разной шириной.

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 30.06.2024
Число запросов 107558
Число посетителей 704
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».