Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Установка плазмохимического охлаждения диэлектрических пленок<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


   
    Плазмохимическое осаждение пленок двуокиси кремния в автоматизированной установке с индивидуальной обработкой пластин [Текст] / Евтух А.А. [и др.] // Материаловедение. - 2001. - N10. - С. .40-43
УДК
621.793.74

Кл.слова (ненормированные):
Установка плазмохимического охлаждения диэлектрических пленок -- Парогазовая смесь(PE CVD)
Доп.точки доступа:
Евтух, А.А.
Рассамакин, В.Я.
Рассамакин, Ю.В.
Литвин, Ю.М.


Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 05.07.2024
Число запросов 58917
Число посетителей 749
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».