Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Травление реактивное(мониторинг)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Орликовский, А. А.
    Плазменные процессы в микро- и наноэлектронике. Часть 1.Реактивное ионное травление [Текст] / Орликовский А.А. // Микроэлектроника. - 1999. - Т.2. - 5.-С.344-362.-Библиогр.:14 назв.
УДК
621.382

Кл.слова (ненормированные):
Кремниевая технология(развитие) -- Интегральные схемы ультрабольшие(тенденции развития технологии) -- Микроэлектроника субмикронная(применение плазмы в новых технологиях) -- Травление реактивное(мониторинг) -- Эффект апертурный -- Травление в плазме(обзор дефектов)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 03.07.2024
Число запросов 158618
Число посетителей 1052
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».