Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Интегральные микросхемы(изоляция элементов)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


   
    Формирование локальных диэлектрических областей в Si-Si/Ge-структурах имплантацией и последующим неоднородным химическим травлением [Текст] / В. В. Старков и [др.] // Микроэлектроника. - 2000. - Т.2. - 5.-С.333-338.-Библиогр.:12 назв.
УДК
621.315.592

Кл.слова (ненормированные):
Интегральные микросхемы(изоляция элементов) -- Аморфные пористые пленки -- Неоднородное химическое травление -- Диэлектрические области локальные(формирование)
Доп.точки доступа:
Старков, В.В.
Старостина, Е.А.
Вяткин, А.Ф.
Горбатов, Ю.Б.


Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 01.07.2024
Число запросов 89765
Число посетителей 826
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».