Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Диагностика плазмы,поверхности пластин(микроэлектроника)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Орликовский, А. А.
    Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы [Текст] / А.А.Орликовский,К.В.Руденко,Я.И.Суханов // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 6.-С.403-433.-Библиогр.:62 назв.
УДК
621.382

Кл.слова (ненормированные):
Микроэлектроника(управление плазмохимическими процессами) -- Плазмохимические процессы микроэлектроники(управление) -- Диагностика плазмы,поверхности пластин(микроэлектроника) -- Диагностика in situ -- Контроллеры автоматического управления(моделирование,архитектура)
Доп.точки доступа:
Руденко, К.В.
Суханов, Я.И.


Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 29.06.2024
Число запросов 38015
Число посетителей 811
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».