Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=микротомография<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


   
    Электронно-зондовая неразрушающая бесконтактная диагностика приборных структур микроэлектроники [Текст] // Микроэлектроника. - 2010. - Т. 39, N 5. - С. 327-336. - Библиогр.: с. 336 (14 назв.)
УДК
621.385

Кл.слова (ненормированные):
НЕРАЗРУШАЮЩИЙ КОНТРОЛЬ -- ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП -- РАСТРОВАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ -- микротомография
Аннотация: Описан электронно-зондовый диагностический комплекс на базе растрового электронного микроскопа. позволяющий бесконтактным неразрушающим способом исследовать строение и архитектуру трехмерных приборных структур микроэлектроники.

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 13.07.2024
Число запросов 59061
Число посетителей 717
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».