Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Микроэлектроника полупроводниковая(технология)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Васильев, В. Ю.
    Тенденции развития технологии и аппаратуры химического осаждения тонких диэлектрических слоев на основе диоксида кремния в микроэлектронике. Часть II.Заполнение узких зазоров осажденным материалом [Текст] / Васильев В.Ю. // Микроэлектроника. - 1999. - Т.2. - 3.-С.183-192.-Библиогр.:22 назв.
УДК
621.38

Кл.слова (ненормированные):
Микроэлектроника полупроводниковая(технология) -- Осаждение тонких диэлектрических слоев(заполнение зазоров)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 04.07.2024
Число запросов 139952
Число посетителей 987
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».