Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Геликоновый источник<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


   
    Диагностика плазмы геликоного источника с помощью открытого СВЧ-резонатора [Текст] / Ю.П.Барышев,И.Н.Москалев,И.П.Кориткин и др. // Микроэлектроника. - 2002. - Т.3. - 4.-С.286-291.-Библиогр.:3 назв. - (Диагностика)
УДК
621.382.002

Кл.слова (ненормированные):
Диагностика плазмы -- Геликоновый источник -- СВЧ-резонатор -- Микроэлектроника(технологии)
Доп.точки доступа:
Барышев, Ю.П.
Москалев, И.Н.
Кориткин, И.П.
Орликовский, А.А.
Прокофьев, А.О.


Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 02.08.2024
Число запросов 65759
Число посетителей 515
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».