Информационно-библиотечный центр Поволжского государственного технологического университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Статьи- результаты поиска

Вид поиска

Книги

Статьи

Полные тексты изданий ПГТУ

Периодика

Авторефераты и диссертации

Область поиска

Найдено в других БД:

Книги (1)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>A=Орликовский, А. А.$<.>)

Общее количество найденных документов : 9
Показаны документы с 1 по 9

Диагностика плазмы геликоного источника с помощью открытого СВЧ-резонатора [Текст] / Ю.П.Барышев,И.Н.Москалев,И.П.Кориткин и др. // Микроэлектроника. - 2002. - Т.3. - 4.-С.286-291.-Библиогр.:3 назв. - (Диагностика)

УДК

621.382.002

Кл.слова (ненормированные):
Диагностика плазмы -- Геликоновый источник -- СВЧ-резонатор -- Микроэлектроника(технологии)
Доп.точки доступа:
Барышев, Ю.П.
Москалев, И.Н.
Кориткин, И.П.
Орликовский, А.А.
Прокофьев, А.О.

Найти похожие

Контактные TiSi2 и барьерные TiN слои для многоуровневой металлизации УБИС [Текст] / А. Г. Васильев и др. // Микроэлектроника. - 2002. - Т.3. - 1.-С.9-15.-Библиогр.:8 назв. - (Технологические процессы)

УДК

621.3.049.77

Кл.слова (ненормированные):
Многоуровневая металлизация УБИС -- Тонкие пленки ИС(формирование) -- Интегральные схемы(многоуровневые,металлизация) -- Технологические процессы в микроэлектронике -- Процессы технологические(в микроэлектронике)
Доп.точки доступа:
Васильев, А.Г.
Орликовский, А.А.
Родатис, В.В.
Хорин, И.А.

Найти похожие

Орликовский, А. А.
Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы [Текст] / А.А.Орликовский,К.В.Руденко,Я.И.Суханов // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 6.-С.403-433.-Библиогр.:62 назв.

УДК

621.382

Кл.слова (ненормированные):
Микроэлектроника(управление плазмохимическими процессами) -- Плазмохимические процессы микроэлектроники(управление) -- Диагностика плазмы,поверхности пластин(микроэлектроника) -- Диагностика in situ -- Контроллеры автоматического управления(моделирование,архитектура)
Доп.точки доступа:
Руденко, К.В.
Суханов, Я.И.

Найти похожие

Орликовский, А. А.
Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть III [Текст] / Орликовский А.А., Руденко К.В. // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 5.-С.323-344.-Библиогр.:44 назв.

УДК

621.382

Кл.слова (ненормированные):
Микроэлектроника(технологические процессы,диагностика in situ) -- Диагностика in situ(микроэлектроника) -- Технологические процессы(микроэлектроника) -- Зондирование поверхности структур(микроэлектроника) -- Микроструктуры -- Интерферометрия -- Эллипсометрия(одноволновая спектральная) -- Термодиагностика пластины
Доп.точки доступа:
Руденко, К.В.

Найти похожие

Некоторые применения микроволнового источника плотной плазмы в субмикронной технологии кремниевых интегральных схем [Текст] / С. Н. Аверкин и [др.] // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 3.-С.183-188.-Библиогр.:14 назв.

УДК

621.382

Кл.слова (ненормированные):
Субмикронная технология кремниевых интегральных схем -- Интегральные схемы кремниевые(субмикронная технология) -- Микроволновой источник плотной плазмы(применение) -- Охлаждение тонких слоев SiO2 -- Заполнение субмикронных канавок -- Субмикронные канавки(заполнение) -- Тонкие слои SiO2(охлаждение) -- Локальная планаризация поверхности ИС -- Травление глубоких"тренчей"в диэлектрике -- Диэлектрик(травление"тренчей")
Доп.точки доступа:
Аверкин, С.Н.
Валиев, К.А.
Наумов, В.А.
Калинин, А.В.
Кривоспицкий, А.Д.
Орликовский, А.А.
Рылов, А.А.

Найти похожие

Орликовский, А. А.
Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть II [Текст] / А.А.Орликовский,К.В.Руденко,Я.Н.Суханов // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 3.-С.163-182.-Библиогр.:29 назв.

УДК

621.382

Кл.слова (ненормированные):
Микроэлектроника(мониторинг плазмохимических процессов) -- Плазмохимические процессы микроэлектроники(мониторинг) -- Масс-спектрометрия ионов -- СВЧ-диагностика(плазмы)
Доп.точки доступа:
Руденко, К.В.
Суханов, Я.Н.

Найти похожие

Орликовский, А. А.
Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть 1. [Текст] / Орликовский А.А., Руденко К.В. // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 2.-С.85-105.-Библиогр.:26 назв.

УДК

621.382

Кл.слова (ненормированные):
Микроэлектронная технология(мониторинг процессов in situ) -- Плазменные технологические процессы(диагностика in situ) -- Спектральные диагностические методы(в микроэлектронике) -- Масс-спектрометрия in situ -- Зондовые методы диагностики(процессов травления) -- СВЧ-диагностика плазмы -- Термометрия поверхности
Доп.точки доступа:
Руденко, К.В.

Найти похожие

Орликовский, А. А.
Плазменные процессы в микро- и наноэлектронике. Часть 1.Реактивное ионное травление [Текст] / Орликовский А.А. // Микроэлектроника. - 1999. - Т.2. - 5.-С.344-362.-Библиогр.:14 назв.

УДК

621.382

Кл.слова (ненормированные):
Кремниевая технология(развитие) -- Интегральные схемы ультрабольшие(тенденции развития технологии) -- Микроэлектроника субмикронная(применение плазмы в новых технологиях) -- Травление реактивное(мониторинг) -- Эффект апертурный -- Травление в плазме(обзор дефектов)

Найти похожие

Микроволновый широкоапертурный источник плотной плазмы [Текст] / С.Н.Аверкин,К.А.Валиев,В.В.Кошкин и др. // Микроэлектроника. - 1999. - Т.2. - 6.-С.427-433.-Библиогр.:6 назв.

УДК

621.382

Кл.слова (ненормированные):
Источник плотной плазмы(микроволновый,конструкция)
Доп.точки доступа:
Аверкин, С.Н.
Валиев, К.А.
Кошкин, В.В.
Орликовский, А.А.
Руденко, К.В.
Сусанов, Я.Н.

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 02.06.2024
Число запросов	48121
Число посетителей	1266
Число заказов	0