Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>A=Котенов, В. А.$<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Котенов, В. А.
    Комбинирование лазерного фото ЭДС и эллипсометрического микрозондов в дефектоскопии тонких поверхностных слоев и пленок [Текст] / В.А.Котенев // Микроэлектроника. - 2003. - Т.3. - 6.-С.440-447. - (Диагностика микроэлектронных структур)
УДК
621.382

Кл.слова (ненормированные):
Компьютер(в проектировании радиоэлектронных устройств) -- Компьютерное моделирование(в электронике) -- Тонкопленочная технология(контроль процесса травления)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 11.07.2024
Число запросов 4648
Число посетителей 260
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».