Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>U=621.3.082.75<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Мордвинцев, В. М.
    Методика контроля процесса травления нанометрового слоя диэлектрика in situ путем измерения адмитанса системы [Текст] / Мордвинцев В.М., Шумилова Т.К. // Микроэлектроника. - 1999. - Т.2. - 2.-С.136-147
УДК
621.3.082.75

Кл.слова (ненормированные):
Травление нанометрового слоя диэлектрика(контроль процесса) -- Измерение адмитанса системы(контроль процесса травления) -- Диэлектрики in situ(травление нанометрового слоя) -- Тонкопленочная технология(контроль процесса травления)
Доп.точки доступа:
Шумилова, Т.К.


Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 02.06.2024
Число запросов 47033
Число посетителей 1236
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».