Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Диагностика in situ(микроэлектроника)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Орликовский, А. А.
    Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть III [Текст] / Орликовский А.А., Руденко К.В. // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 5.-С.323-344.-Библиогр.:44 назв.
УДК
621.382

Кл.слова (ненормированные):
Микроэлектроника(технологические процессы,диагностика in situ) -- Диагностика in situ(микроэлектроника) -- Технологические процессы(микроэлектроника) -- Зондирование поверхности структур(микроэлектроника) -- Микроструктуры -- Интерферометрия -- Эллипсометрия(одноволновая спектральная) -- Термодиагностика пластины
Доп.точки доступа:
Руденко, К.В.


Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 02.06.2024
Число запросов 47042
Число посетителей 1236
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».