Информационно-библиотечный центр Поволжского государственного технологического университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Статьи- результаты поиска

Вид поиска

Книги

Статьи

Полные тексты изданий ПГТУ

Периодика

Авторефераты и диссертации

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=Тонкопленочная технология(контроль процесса травления)<.>)

Общее количество найденных документов : 3
Показаны документы с 1 по 3

Васильев, В. Ю.
Тонкие слои борофосфоросиликаного стекла в технологии кремниевой микроэлектроники.[Текст] [Текст] : ч.1.осаждение из газовой фазы и свойства слоев стекла / В.Ю.Васильев // Микроэлектроника. - 2004. - Т.3. - №5.-С.334-351.-Библиогр.: с.349-351. - (Технология СБИС)

УДК

541.124

Кл.слова (ненормированные):
Материалы тонкопленочные(с магнитосопротивлением) -- История радиотехники -- Микроэлектроника(история) -- Тонкопленочная технология(контроль процесса травления)

Найти похожие

Котенов, В. А.
Комбинирование лазерного фото ЭДС и эллипсометрического микрозондов в дефектоскопии тонких поверхностных слоев и пленок [Текст] / В.А.Котенев // Микроэлектроника. - 2003. - Т.3. - 6.-С.440-447. - (Диагностика микроэлектронных структур)

УДК

621.382

Кл.слова (ненормированные):
Компьютер(в проектировании радиоэлектронных устройств) -- Компьютерное моделирование(в электронике) -- Тонкопленочная технология(контроль процесса травления)

Найти похожие

Мордвинцев, В. М.
Методика контроля процесса травления нанометрового слоя диэлектрика in situ путем измерения адмитанса системы [Текст] / Мордвинцев В.М., Шумилова Т.К. // Микроэлектроника. - 1999. - Т.2. - 2.-С.136-147

УДК

621.3.082.75

Кл.слова (ненормированные):
Травление нанометрового слоя диэлектрика(контроль процесса) -- Измерение адмитанса системы(контроль процесса травления) -- Диэлектрики in situ(травление нанометрового слоя) -- Тонкопленочная технология(контроль процесса травления)
Доп.точки доступа:
Шумилова, Т.К.

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 06.07.2024
Число запросов	42688
Число посетителей	734
Число заказов	0