Информационно-библиотечный центр Поволжского государственного технологического университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Статьи- результаты поиска

Вид поиска

Книги

Статьи

Полные тексты изданий ПГТУ

Периодика

Авторефераты и диссертации

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=ТРАВЛЕНИЕ В ПЛАЗМЕ(ОБЗОР ДЕФЕКТОВ)<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

Смирнов, А. А.
Влияние добавок Ar и Heна параметры и состав плазмы [Текст] / А. А. Смирнов, А. М. Ефремов, В. И. Светцов // Микроэлектроника. - 2010. - N 5. - С. 392-400. - Библиогр.: с. 400 (15 назв.)

УДК

537.525

Кл.слова (ненормированные):
ПЛАЗМА -- НИЗКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ПЛАЗМА -- ТРАВЛЕНИЕ В ПЛАЗМЕ(ОБЗОР ДЕФЕКТОВ) -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ
Аннотация: Проведено модельное исследование влияния начального состава смесей.
Доп.точки доступа:
Ефремов, А. М.
Светцов, В. И.

Найти похожие

Орликовский, А. А.
Плазменные процессы в микро- и наноэлектронике. Часть 1.Реактивное ионное травление [Текст] / Орликовский А.А. // Микроэлектроника. - 1999. - Т.2. - 5.-С.344-362.-Библиогр.:14 назв.

УДК

621.382

Кл.слова (ненормированные):
Кремниевая технология(развитие) -- Интегральные схемы ультрабольшие(тенденции развития технологии) -- Микроэлектроника субмикронная(применение плазмы в новых технологиях) -- Травление реактивное(мониторинг) -- Эффект апертурный -- Травление в плазме(обзор дефектов)

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 03.07.2024
Число запросов	136232
Число посетителей	1015
Число заказов	0