Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=SIMOX-структуры(низкотемпературный отжиг)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Рудаков, В. И.
    Низкотемпературный отжиг SIMOX-структур в неоднородном температурном поле [Текст] / В.И.Рудаков,Ю.И.Денисенко,Б.В.Мочалов // Микроэлектроника. - 2000. - Т.2. - 5.-С.367-373.-Библиогр.:13 назв.
УДК
621.382:539.23

Кл.слова (ненормированные):
SIMOX-структуры(низкотемпературный отжиг) -- Диэлектрик(формирование скрытых слоев) -- КНИ-технология
Доп.точки доступа:
Денисенко, Ю.И.
Мочалов, Б.В.


Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 08.07.2024
Число запросов 85104
Число посетителей 981
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».