Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>A=Ивин, В. В.$<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Ивин, В. В.
    Анализ практических применений внеосетеых источников в оптической нанолитографии[Текст] [Текст] / В.В.Ивин, Т.М.Махвиладзе, К.А.Валиев // Микроэлектроника. - 2004. - Т.3. - 4.-С.259-272.-Библиогр.: с.272. - (Литография)
УДК
621.382.002

Кл.слова (ненормированные):
Интегральные микросхемы(изготовление,контроль техпроцессов) -- Нанотехнологии
Доп.точки доступа:
Махвиладзе, Т.М.
Валиев., К.А.


Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 02.07.2024
Число запросов 151482
Число посетителей 857
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».