Информационно-библиотечный центр Поволжского государственного технологического университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Статьи- результаты поиска

Вид поиска

Книги

Статьи

Полные тексты изданий ПГТУ

Периодика

Авторефераты и диссертации

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>A=Руденко, К. В.$<.>)

Общее количество найденных документов : 6
Показаны документы с 1 по 6

Руденко, К. В.
Возможности синхронного детектирования эмиссионного сигнала плазмы при мониторинге травлния структуры SiO2/Si [Текст] / К.В.Руденко,Я.Н.Суханов,Н.И.Базаев // Микроэлектроника. - 2003. - №7-. - -С.271-276

УДК

621.382

Кл.слова (ненормированные):
Полупроводниковая электроника -- Электроника материалы -- Теория сигналов

Найти похожие

Орликовский, А. А.
Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы [Текст] / А.А.Орликовский,К.В.Руденко,Я.И.Суханов // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 6.-С.403-433.-Библиогр.:62 назв.

УДК

621.382

Кл.слова (ненормированные):
Микроэлектроника(управление плазмохимическими процессами) -- Плазмохимические процессы микроэлектроники(управление) -- Диагностика плазмы,поверхности пластин(микроэлектроника) -- Диагностика in situ -- Контроллеры автоматического управления(моделирование,архитектура)
Доп.точки доступа:
Руденко, К.В.
Суханов, Я.И.

Найти похожие

Орликовский, А. А.
Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть III [Текст] / Орликовский А.А., Руденко К.В. // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 5.-С.323-344.-Библиогр.:44 назв.

УДК

621.382

Кл.слова (ненормированные):
Микроэлектроника(технологические процессы,диагностика in situ) -- Диагностика in situ(микроэлектроника) -- Технологические процессы(микроэлектроника) -- Зондирование поверхности структур(микроэлектроника) -- Микроструктуры -- Интерферометрия -- Эллипсометрия(одноволновая спектральная) -- Термодиагностика пластины
Доп.точки доступа:
Руденко, К.В.

Найти похожие

Орликовский, А. А.
Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть II [Текст] / А.А.Орликовский,К.В.Руденко,Я.Н.Суханов // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 3.-С.163-182.-Библиогр.:29 назв.

УДК

621.382

Кл.слова (ненормированные):
Микроэлектроника(мониторинг плазмохимических процессов) -- Плазмохимические процессы микроэлектроники(мониторинг) -- Масс-спектрометрия ионов -- СВЧ-диагностика(плазмы)
Доп.точки доступа:
Руденко, К.В.
Суханов, Я.Н.

Найти похожие

Орликовский, А. А.
Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть 1. [Текст] / Орликовский А.А., Руденко К.В. // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 2.-С.85-105.-Библиогр.:26 назв.

УДК

621.382

Кл.слова (ненормированные):
Микроэлектронная технология(мониторинг процессов in situ) -- Плазменные технологические процессы(диагностика in situ) -- Спектральные диагностические методы(в микроэлектронике) -- Масс-спектрометрия in situ -- Зондовые методы диагностики(процессов травления) -- СВЧ-диагностика плазмы -- Термометрия поверхности
Доп.точки доступа:
Руденко, К.В.

Найти похожие

Микроволновый широкоапертурный источник плотной плазмы [Текст] / С.Н.Аверкин,К.А.Валиев,В.В.Кошкин и др. // Микроэлектроника. - 1999. - Т.2. - 6.-С.427-433.-Библиогр.:6 назв.

УДК

621.382

Кл.слова (ненормированные):
Источник плотной плазмы(микроволновый,конструкция)
Доп.точки доступа:
Аверкин, С.Н.
Валиев, К.А.
Кошкин, В.В.
Орликовский, А.А.
Руденко, К.В.
Сусанов, Я.Н.

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 02.07.2024
Число запросов	85425
Число посетителей	623
Число заказов	0