Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>A=Амиров, И. И.$<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Амиров, И. И.
    Создание 0,5 мкм структур методом "сухой" электронолитографии и плазменных анизотропных процессов травления [Текст] / Амиров И.И., Федоров В.А. // Микроэлектроника. - 2000. - Т.2. - 5.-С.353-357.-Библиогр.:14 назв.
УДК
621.382

Кл.слова (ненормированные):
Электронолитография"сухая" -- Травление(плазменное,анизотропное) -- Субмикронные структуры(создание)
Доп.точки доступа:
Федоров, В.А.


Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 02.07.2024
Число запросов 51147
Число посетителей 568
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».