Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>U=537.525<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Смирнов, А. А.
    Влияние добавок Ar и Heна параметры и состав плазмы [Текст] / А. А. Смирнов, А. М. Ефремов, В. И. Светцов // Микроэлектроника. - 2010. - N 5. - С. 392-400. - Библиогр.: с. 400 (15 назв.)
УДК
537.525

Кл.слова (ненормированные):
ПЛАЗМА -- НИЗКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ПЛАЗМА -- ТРАВЛЕНИЕ В ПЛАЗМЕ(ОБЗОР ДЕФЕКТОВ) -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ
Аннотация: Проведено модельное исследование влияния начального состава смесей.
Доп.точки доступа:
Ефремов, А. М.
Светцов, В. И.


Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 30.06.2024
Число запросов 141688
Число посетителей 758
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».