Информационно-библиотечный центр Поволжского государственного технологического университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Статьи- результаты поиска

Вид поиска

Книги

Статьи

Полные тексты изданий ПГТУ

Периодика

Авторефераты и диссертации

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>U=621.382.002<.>)

Общее количество найденных документов : 4
Показаны документы с 1 по 4

Ивин, В. В.
Анализ практических применений внеосетеых источников в оптической нанолитографии[Текст] [Текст] / В.В.Ивин, Т.М.Махвиладзе, К.А.Валиев // Микроэлектроника. - 2004. - Т.3. - 4.-С.259-272.-Библиогр.: с.272. - (Литография)

УДК

621.382.002

Кл.слова (ненормированные):
Интегральные микросхемы(изготовление,контроль техпроцессов) -- Нанотехнологии
Доп.точки доступа:
Махвиладзе, Т.М.
Валиев., К.А.

Найти похожие

Диагностика плазмы геликоного источника с помощью открытого СВЧ-резонатора [Текст] / Ю.П.Барышев,И.Н.Москалев,И.П.Кориткин и др. // Микроэлектроника. - 2002. - Т.3. - 4.-С.286-291.-Библиогр.:3 назв. - (Диагностика)

УДК

621.382.002

Кл.слова (ненормированные):
Диагностика плазмы -- Геликоновый источник -- СВЧ-резонатор -- Микроэлектроника(технологии)
Доп.точки доступа:
Барышев, Ю.П.
Москалев, И.Н.
Кориткин, И.П.
Орликовский, А.А.
Прокофьев, А.О.

Найти похожие

Светличный, А. М.
Формирование пленок диоксида кремния фотохимическим разложением тетраэтоксисилана [Текст] / А.М.Светличный,В.В.Поляков,Ю.Н.Варзарев // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 1.-С.27-31.-Библиогр.:8 назв.

УДК

621.382.002

Кл.слова (ненормированные):
Пленки диоксида кремния(формирование) -- Тетраэтоксисилан(фотохимическое разложение) -- Микроэлектроника(технологии)
Доп.точки доступа:
Поляков, В.В.
Варзарев, Ю.Н.

Найти похожие

Оболенский, С. В.
Исследование процессов генерации в баллистическом полевом транзисторе [Текст] / Оболенский С.В., Китаев М.А. // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 1.-С.10-15.-Библиогр.:9 назв.

УДК

621.382.002

Кл.слова (ненормированные):
Генерация(в полевом транзисторе) -- Транзистор баллистический полевой(исследование генерации)
Доп.точки доступа:
Китаев, М.А.

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 01.07.2024
Число запросов	11130
Число посетителей	455
Число заказов	0