Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>U=541.124<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Васильев, В. Ю.
    Тонкие слои борофосфоросиликаного стекла в технологии кремниевой микроэлектроники.[Текст] [Текст] : ч.1.осаждение из газовой фазы и свойства слоев стекла / В.Ю.Васильев // Микроэлектроника. - 2004. - Т.3. - №5.-С.334-351.-Библиогр.: с.349-351. - (Технология СБИС)
УДК
541.124

Кл.слова (ненормированные):
Материалы тонкопленочные(с магнитосопротивлением) -- История радиотехники -- Микроэлектроника(история) -- Тонкопленочная технология(контроль процесса травления)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 04.07.2024
Число запросов 90070
Число посетителей 803
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».