Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Полупроводниковые пластины (термостабилизация)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Абрамов, Г. В.
    Автоматизация процесса термостабилизации полупроводниковых пластин в процессе фотолитографии на базе модульной установки с несущей газовой прослойкой [Текст] / Г.В.Абрамов,В.Б.Коваленко,Г.В.Попов // Автоматизация и современные технологии. - 2001. - N5. - С. 3-6. - (Автоматизация и механизация научно-исследовательских и производственных процессов). - Библиогр.: с. 6 (6 назв.)
УДК
621.382

Кл.слова (ненормированные):
Полупроводниковая электроника (технология производства) -- Полупроводниковые пластины (термостабилизация) -- Фотолитографический процесс (производство полупроводниковых пластин)
Доп.точки доступа:
Коваленко, В.Б.
Попов, Г.В.


Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 30.06.2024
Число запросов 170141
Число посетителей 888
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».