Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Плазмохимические процессы микроэлектроники(мониторинг)<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Орликовский, А. А.
    Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть II [Текст] / А.А.Орликовский,К.В.Руденко,Я.Н.Суханов // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 3.-С.163-182.-Библиогр.:29 назв.
УДК
621.382

Кл.слова (ненормированные):
Микроэлектроника(мониторинг плазмохимических процессов) -- Плазмохимические процессы микроэлектроники(мониторинг) -- Масс-спектрометрия ионов -- СВЧ-диагностика(плазмы)
Доп.точки доступа:
Руденко, К.В.
Суханов, Я.Н.


Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 02.07.2024
Число запросов 158315
Число посетителей 862
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».