Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=Масс-спектрометрия ионов<.>)
Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2
1.


    Орликовский, А. А.
    Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть II [Текст] / А.А.Орликовский,К.В.Руденко,Я.Н.Суханов // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 3.-С.163-182.-Библиогр.:29 назв.
УДК
621.382

Кл.слова (ненормированные):
Микроэлектроника(мониторинг плазмохимических процессов) -- Плазмохимические процессы микроэлектроники(мониторинг) -- Масс-спектрометрия ионов -- СВЧ-диагностика(плазмы)
Доп.точки доступа:
Руденко, К.В.
Суханов, Я.Н.


Найти похожие
2.


    Закирничная, М. М.
    Методика идентификации фуллеренов, выделенных из железородистых сплавов [Текст] / Закирничная М.М. // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2001. - N8. - С. 25-30
УДК
541.015:669.1

Кл.слова (ненормированные):
Фуллерены(выделение из железоуглеродистых сплавов) -- Масс-спектрометрия ионов -- Оценка фуллеренов

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 02.07.2024
Число запросов 165838
Число посетителей 876
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».